綠碳化硅微粉切割硅晶片的特點(diǎn):
1、粒度分布集中并且均勻。
2、高純度、大結(jié)晶的綠碳化硅原材料,保證了綠碳化硅微粉的優(yōu)良切割性能和穩(wěn)定的物理狀態(tài)。
3、粒度形狀為等積而具刀鋒,保證了綠碳化硅微粉作為切割刃料的均衡自銳性,從而保證被切割材料TTV的最小化。
4、有高的熱震穩(wěn)定性和荷重軟化溫度,這確保了在荷重切割時(shí)的小的線膨脹系數(shù),從而保證切割的穩(wěn)定性;并且能夠和切割機(jī)有很好的適配性。
5、表面經(jīng)過特殊處理,綠碳化硅微粉具備大的比表面積和清潔的外表,與聚乙二醇等切削液有很好的實(shí)配性。